• PFCT模具

          PFCT微流控芯片模具是一種用于PDMS芯片澆筑的模具,具有壽命長(cháng),結構精度高,澆筑成型便捷等優(yōu)點(diǎn)。PFCT模具結合了PMMA和SU8硅片模具的優(yōu)點(diǎn),既有PMMA模具的壽命,又有SU8模具的精度。在批量澆筑成型芯片中不可替代。

    模具制作流程:

    1、光刻加工:按照光刻工藝流程加工出來(lái)高精度模具,這里同樣需要掩膜,光刻膠,顯影液等完成初步模具的加工。

    2、翻模:用上述加工的模具結構翻模出來(lái)PDMS過(guò)渡層;

    3、PFCT采用一定比例調制而成,用PDMS過(guò)渡層再次翻模PFCT,可以得到精度好、更耐用PDMS微流控芯片模具。

    外觀(guān)結構描述:

    1、模具稍有透明度,可透光檢查模具效果及內部結構;

    2、模具厚度可以根據工藝調整,一般建議厚度1-2mm即可;

    3、加工成型的外形和硅片類(lèi)似,成圓形也有切邊,上下平整。

    功能優(yōu)點(diǎn):

    經(jīng)過(guò)測試PFCT模具澆筑PDMS脫模簡(jiǎn)單,PDMS結構和SU8模具翻模的效果一致,使用過(guò)程中模具不會(huì )碎裂,無(wú)圖案破損等異常,基本是無(wú)限次翻模。且表面清潔便捷,重復可靠使用。PFCT是批量生產(chǎn)的福音,值得擁有。

    常見(jiàn)澆筑PDMS的成型的模具

    PDMS澆筑成型的關(guān)鍵是模具,目前主流的模具有:SU8光刻膠模具,PMMA模具,金屬模具等。

    SU8模具主要通過(guò)微納光刻技術(shù)在硅片上做出光刻膠凸起圖案,特點(diǎn)是可以做出比較精密的微小流道,且側壁光滑,澆筑PDMS透光度好,目前比較主流的微流控模具就是SU8模具。缺點(diǎn)就是模具在硅片基底上加工,易碎,壽命比較有限。

    PMMA模具和金屬模具對于結構尺寸稍大的流道是加工的首選,成本比較低,但是對于100um以下的結構很難做出來(lái)精密的結構。


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